水晶発振式センサは元々水分計の分野で使用されていた方式ではありましたが、近年露点計センサとして開発、販売されています。
原理としては水晶発振子に水分が吸着する層を薄膜でコーティングなどすることにより、水晶発振子に水の分子が付着する事により振動周波数が変化するという現象を、水分量の変化として取得して露点として表示を行っています。
酸化アルミや高分子方式のようなポーラス状の素材に水分の分子が入りこむという現象ではなく、水の分子が水晶発振子に付着するか離れるかの物理現象を利用しているため、吸着層の設計により低水分量における感度が優れる特性が作れるために、低水分領域の応答の時間を早くできます。そのため酸化アルミ方式や、高分子方式が苦手な低水分（-80℃dp以下）の領域において、精度や再現性が優れています。
特徴
・精度 〇（－90℃dp領域で正確な基準露点で校正されれば±3℃程度の精度で測定可能）
・応答性 〇（－80℃dp程度までは良いがそれ以下になると時間はある程度必要）
・再現性 〇（時間がかかるが再現性は在り）
・耐圧力性能 △
・測定ガス △（基本帝に不活性ガス、CO2は影響あり）
・対腐食性ガス対応 ×
・防爆対応 〇
・コスト 〇
・ランニングコスト △（定期的な校正の必要あり）
・耐コンタミ性能 △（ポーラス構造でないため比較的強い傾向にあり、ただし水晶発振子にコンタミが付着す ると測定精度に影響あり）
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