標準供給（産総研）

産業技術総合研究所（産総研/NMIJ）が2021年に発表した小型CRDS微量水分センサに関する論文を紹介します。質量2.7kg、キャビティ長5cmという劇的な小型化と、3.1ppbという高い検出下限を両立した技術の詳細、および半導体や宇宙探査への応用について解説します。

産総研（AIST）ガス・湿度標準研究グループの活動内容を詳しく紹介。ppbレベルの微量水分から露点95℃までの湿度標準、国際単位系（SI）にトレーサブルな標準ガスの開発、CRDSや高精度質量測定を用いた先端技術、温室効果ガスの標準供給について解説します。

産総研（NMIJ）が開発した世界初の「拡散管方式」微量水分標準について解説。霜点-100°C（10nmol/mol）付近で高い安定性を誇る本装置の仕組みや、SIへの明確なトレーサビリティ、磁気吊下天秤などの基幹技術を紹介します。

産総研（NMIJ）が参加した世界初の微量水分国際比較（パイロット比較）の結果を解説。米国NISTや英国NPL等との比較により、日本の微量水分標準が不確かさの範囲内で国際的に同等であり、かつ世界トップレベルの精度を持つことが証明されました。

産総研（阿部恒氏）の論文に基づき、ガス中微量水分測定の信頼性が飛躍的に向上した背景を解説。-100℃dp（14ppb）の国家標準を確立した独自の「拡散管法」や、従来型センサーが抱えていた課題、CRDS方式の優位性など、技術者必見の情報をまとめています。

CERI（化学物質評価研究機構）による微量水分計の校正サービスを詳解。NMIJで校正されたCRDS方式水分計を標準機とし、12ppb（-100℃dp）からの高精度な校正に対応。応答速度の信頼性を証明するステップ変化グラフの提供など、CERI独自のメリットを紹介します。