水分計 水分計・露点計のサンプリング配管設計｜露点ごとの材質・継手・レイアウト選定基準
【導入文】水分計・露点計本体を正しく選定しても、サンプリング配管の設計が不適切であれば、正確な測定は行えません。吸着水分の影響を抑え、水分の溜まり（デッドスペース）を防ぐための「配管材質」「継手・バルブ」「レイアウト」の選定基準を解説します...
水分計
水分計 水分計 水分計・露点計の具体的な選び方｜実務で失敗しない5つの選定ステップ
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水分計 露点計の歴史 第4章：QCMセンサ露点計の登場
露点計の歴史最終章。酸化アルミ式から始まったプロセス露点計は、高分子式での領域拡大を経て、分析計技術であったQCM（水晶振動子式）の採用へと進化しました。質量計測の原理がもたらした-100℃dp領域での実測の意義を技術的視点で辿ります。
水分計 露点計の歴史 第3章：低露点の基準器の変遷とCRDS方式
露点計の歴史第3章。長年基準器として君臨した鏡面冷却式露点計の物理的限界と、それを打破した最新の光計測技術「CRDS方式」について解説します。国家標準レベルの信頼性を持つマイナス100℃領域の計測技術の変遷を技術的視点から辿ります。
標準供給（産総研） キャビティリングダウン分光法に基づく小型微量水分センサの開発
産業技術総合研究所（産総研/NMIJ）が2021年に発表した小型CRDS微量水分センサに関する論文を紹介します。質量2.7kg、キャビティ長5cmという劇的な小型化と、3.1ppbという高い検出下限を両立した技術の詳細、および半導体や宇宙探査への応用について解説します。
水分計 レーザー式（CRDS：キャビティリングダウン分光法）水分計
キャビティリングダウン分光法（CRDS）による水分測定の原理と、技術的な特徴を解説しています。検出限界や応答速度における優位性、他方式との比較など、実務に役立つ情報を整理しました。半導体プロセスや高純度ガス管理における計器選定の検討材料としてご活用ください