標準供給(産総研)

キャビティリングダウン分光法に基づく小型微量水分センサの開発

産業技術総合研究所(産総研/NMIJ)が2021年に発表した小型CRDS微量水分センサに関する論文を紹介します。質量2.7kg、キャビティ長5cmという劇的な小型化と、3.1ppbという高い検出下限を両立した技術の詳細、および半導体や宇宙探査への応用について解説します。
水分計、露点計

NPL試験で判明:安価な水分センサが極低露点で「沈黙」する理由

英国NPLによる微量水分計の比較試験(Paper 064)を解説。工業用静電容量式センサが低露点領域で起こす「不感帯(unresponsive)」の正体や、1年で15 °Cものドリフト、応答の遅れなど、安価なセンサの技術的限界を数値的根拠と共に紹介します。
水分計測関連

1ppm(-75℃DP)以下の水分量の測定に関して。低水分領域の「露点管理」が抱えるリスク:なぜ ppb 管理へ移行すべきなのか?

露点 -75 °C 以下の領域では、露点 1 °C の重みが激変します。水分量(ppb)に対してリニアではない露点表示のリスク、検量線が必要な従来型センサーの限界、そしてなぜ国家標準が ppb 管理を推奨するのかを解説します。
水分計、露点計

具体的な水分測定器(水分計、露点計)の選定

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水分計、露点計

水晶発振方式露点計(QCM方式露点計)

水晶発振式センサ(QCM方式)による水分測定の仕組みを詳しく解説。水晶発振子の周波数変化を利用した高精度な測定原理や、酸化アルミ方式との違い、-80℃dp以下の低露点領域における精度・再現性の強みを紹介します。専門的な特性一覧も掲載。
水分計

レーザー式(CRDS:キャビティリングダウン分光法)水分計

ppb・pptレベルの超微量水分測定を可能にするCRDS(キャビティリングダウン分光法)方式レーザー水分計を徹底解説。光学的な測定原理から最新の基準器としての信頼性、従来の鏡面式(ミラー式)露点計との違い、現場でのメリット・デメリットまで、実務に役立つ情報を網羅しています。
水分計、露点計

高分子方式静電容量式露点計

高分子膜(ポリマー)を使用した高分子式露点計の仕組みを詳しく解説。静電容量の変化を利用した測定原理や、酸化アルミ方式より優れた応答性・再現性の特徴を紹介。-60℃dp以下の低露点領域で使用する際の注意点や最新の予測機能についても網羅しています。
水分計、露点計

酸化アルミ方式静電容量式露点計

酸化アルミ(Al2O3)方式露点計の測定原理や特徴、運用の注意点を技術者向けに詳しく解説。-100℃dpからの広い測定レンジや静電容量式の仕組み、経年変化(ドリフト)への対応策まで。他の水分計方式との比較に役立つ特性一覧も掲載しています。
水分計、露点計

高感度ガス中微量水分計の開発(産総研Today2015-01)

産総研、湿度標準研究部門にて開発されているCRDS方式水分計の情報となります。
水分計、露点計

水分計測の基本(3大原則)

水分測定を成功させる3大原則を詳解。用途に応じた計測器(CRDS/QCM/静電容量)の選び方や、SUS BA管/EP管・ダイアフラムバルブの使い分けを解説。多くの現場で陥りやすい「配管内の水分変化を測ってしまう罠」と、正しい平衡状態の見極め方について。