アルミを酸化させた棒に金合金を蒸着させることにより、ポーラス状の酸化アルミの膜に水分子がはいることにより、蒸着した金合金とアルミ棒部分に起きる静電容量の変化を発見。
基準露点計との比較データ校正データとしてセンサ内部のプロセッサーで処理を行い直線的な指示値を示すようになっています。
メーカーによっては、セラミック等の基板上に酸化アルミの膜を蒸着しさらに金化合物をその上に蒸着させています。
センサの特性としてｰ70℃dp（2ppm程度）以下の水分領域においては、精度、再現性、応答速度などが悪くなっていく遅くなるような傾向があります。
特徴としては、小型（最新の露点計はトランスミッター化されてコンパクト）化され、コスト的にも他の原理の露点計と比べると低コストで製造が可能になっています。
採用する際の注意点として。
・－70℃DP以下の精度、再現性、応答時間（特にウェットからドライへの変化時に）があまりよくないため、
正確に露点を測定したい場合にはー60℃dp強までの使用として、－70℃DPの領域においては参考ででの使用にとどめる。
－80℃DP以下の領域においては、ほとんどの露点計メーカーは基準器との比較校正を行っておらず、カタログスペックの±何度というような精度での測定は難しいのが現状となります。
また、サンプルガスや環境の温度変化により、センサ内の静電容量の変化も起きるので、各メーカー温度補償の補正を内部ソフトでかけていますが、センサのロット間などの特性の変化があるため、なかなか完全に補正しきれていない現状があります。
特徴
・精度 〇（－60℃までは〇、－60～－70は△-80℃DP以下は×）
・応答性 〇（－60℃までは〇、－60～－70は△-80℃DP以下は×）
・再現性 〇（－60℃までは〇、－60～－70は△-80℃DP以下は×）
・耐圧力性能 〇（15Mpa耐圧対応まであ機種あり）
・測定ガス △（基本的に不活性ガスのみ。CO2ガスに関しては指示がずれる）
・耐腐食性ガス対応 ×
・防爆対応 〇（日本の認定はメーカーの直状況次第）
・コスト ◎
・ランニングコスト △（定期的な校正が必要）
・耐コンタミ性能 △（酸化膜のポーラスにコンタミが混入することにより精度と応答性に影響大）
