水分計、露点計

産業技術総合研究所（産総研/NMIJ）が2021年に発表した小型CRDS微量水分センサに関する論文を紹介します。質量2.7kg、キャビティ長5cmという劇的な小型化と、3.1ppbという高い検出下限を両立した技術の詳細、および半導体や宇宙探査への応用について解説します。

英国NPLによる微量水分計の比較試験（Paper 064）を解説。工業用静電容量式センサが低露点領域で起こす「不感帯（unresponsive）」の正体や、1年で15 °Cものドリフト、応答の遅れなど、安価なセンサの技術的限界を数値的根拠と共に紹介します。

水分計、露点計、水分計測、水分測定、水分計選定、露点計選定

水晶発振式センサ（QCM方式）による水分測定の仕組みを詳しく解説。水晶発振子の周波数変化を利用した高精度な測定原理や、酸化アルミ方式との違い、-80℃dp以下の低露点領域における精度・再現性の強みを紹介します。専門的な特性一覧も掲載。

キャビティリングダウン分光法（CRDS）による水分測定の原理と、技術的な特徴を解説しています。検出限界や応答速度における優位性、他方式との比較など、実務に役立つ情報を整理しました。半導体プロセスや高純度ガス管理における計器選定の検討材料としてご活用ください

高分子膜（ポリマー）を使用した高分子式露点計の仕組みを詳しく解説。静電容量の変化を利用した測定原理や、酸化アルミ方式より優れた応答性・再現性の特徴を紹介。-60℃dp以下の低露点領域で使用する際の注意点や最新の予測機能についても網羅しています。

酸化アルミ（Al2O3）方式露点計の測定原理や特徴、運用の注意点を技術者向けに詳しく解説。-100℃dpからの広い測定レンジや静電容量式の仕組み、経年変化（ドリフト）への対応策まで。他の水分計方式との比較に役立つ特性一覧も掲載しています。

産総研、湿度標準研究部門にて開発されているCRDS方式水分計の情報となります。

水分測定を成功させる3大原則を詳解。用途に応じた計測器（CRDS/QCM/静電容量）の選び方や、SUS BA管/EP管・ダイアフラムバルブの使い分けを解説。多くの現場で陥りやすい「配管内の水分変化を測ってしまう罠」と、正しい平衡状態の見極め方について。

産総研　ガス・湿度標準研究グループ　阿部氏による水分標準供給（12ppb~1200ppb＝露点-100℃~-75℃換算）の確立と、水分計、露点計の性能評価に関するレポートになります。CRDS方式水分計の登場により、飛躍的に水分測定の精度や速...