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キャビティリングダウン分光法（CRDS）による水分測定の原理と、技術的な特徴を解説しています。検出限界や応答速度における優位性、他方式との比較など、実務に役立つ情報を整理しました。半導体プロセスや高純度ガス管理における計器選定の検討材料としてご活用ください

高分子膜（ポリマー）を使用した高分子式露点計の仕組みを詳しく解説。静電容量の変化を利用した測定原理や、酸化アルミ方式より優れた応答性・再現性の特徴を紹介。-60℃dp以下の低露点領域で使用する際の注意点や最新の予測機能についても網羅しています。

酸化アルミ（Al2O3）方式露点計の測定原理や特徴、運用の注意点を技術者向けに詳しく解説。-100℃dpからの広い測定レンジや静電容量式の仕組み、経年変化（ドリフト）への対応策まで。他の水分計方式との比較に役立つ特性一覧も掲載しています。

産総研、湿度標準研究部門にて開発されているCRDS方式水分計の情報となります。

水分測定を成功させる3大原則を詳解。用途に応じた計測器（CRDS/QCM/静電容量）の選び方や、SUS BA管/EP管・ダイアフラムバルブの使い分けを解説。多くの現場で陥りやすい「配管内の水分変化を測ってしまう罠」と、正しい平衡状態の見極め方について。

産総研　ガス・湿度標準研究グループ　阿部氏による水分標準供給（12ppb~1200ppb＝露点-100℃~-75℃換算）の確立と、水分計、露点計の性能評価に関するレポートになります。CRDS方式水分計の登場により、飛躍的に水分測定の精度や速...

英国NPLにおいて2004年にレーザー式（CRDS方式）水分計1台、レーザー式（TDLAS方式）水分計1台。ミラー式（鏡面式）露点計2台、五酸化リン方式水分計　2台、静電容量式露点計7台を長期的（12か月後に）にどのような指示値の変化が起こ...

産総研（AIST）ガス・湿度標準研究グループの活動内容を詳しく紹介。ppbレベルの微量水分から露点95℃までの湿度標準、国際単位系（SI）にトレーサブルな標準ガスの開発、CRDSや高精度質量測定を用いた先端技術、温室効果ガスの標準供給について解説します。

産総研（NMIJ）が開発した世界初の「拡散管方式」微量水分標準について解説。霜点-100°C（10nmol/mol）付近で高い安定性を誇る本装置の仕組みや、SIへの明確なトレーサビリティ、磁気吊下天秤などの基幹技術を紹介します。

産総研（NMIJ）が参加した世界初の微量水分国際比較（パイロット比較）の結果を解説。米国NISTや英国NPL等との比較により、日本の微量水分標準が不確かさの範囲内で国際的に同等であり、かつ世界トップレベルの精度を持つことが証明されました。