標準供給(産総研) ガス中微量水分測定の信頼性はなぜ飛躍的に向上したのか?(産総研論文より)
産総研(阿部恒氏)の論文に基づき、ガス中微量水分測定の信頼性が飛躍的に向上した背景を解説。-100℃dp(14ppb)の国家標準を確立した独自の「拡散管法」や、従来型センサーが抱えていた課題、CRDS方式の優位性など、技術者必見の情報をまとめています。
標準供給(産総研)
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